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碳化硅单晶炉SCRP1200系列电阻加热PVT
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碳化硅单晶炉SCRP1200系列电阻加热PVT

所属分类：

碳化硅单晶炉

应用领域：主要用于生产4-8英寸碳化硅单晶衬底。

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产品描述

参数项目

技术指标
设备型号

SCRP1200
设备尺寸

2600x2600x4400mm
长晶方法

PVT
适用衬底尺寸

8英寸
最高使用温度

2400℃
真空系统

极限真空5x10-4Pa，压升率≤5Pa/12h
气路系统

气体类型：Ar、N₂、H₂等

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